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潔凈室（區(qū)）高效過濾器檢漏測試的目的是確認(rèn)過濾器系統(tǒng)安裝正確，使用過程中無滲漏發(fā)生。潔凈室高效過濾器檢漏測試包括濾材、過濾器邊框、密封墊和支撐架在內(nèi)的整個過濾系統(tǒng)。已裝過濾系統(tǒng)的檢漏在“空態(tài)”或“靜態(tài)”下進(jìn)行，且該項(xiàng)檢測是在新建潔凈室調(diào)試時，或現(xiàn)有設(shè)施需要再檢測時，或更換了末端過濾器之后進(jìn)行。

ATI生產(chǎn)的手提懸浮微粒子產(chǎn)生器，廣泛地應(yīng)用于小如手套箱，大如潔凈房中的HEPA過濾器的測試要求。當(dāng)要驗(yàn)證潔凈房或個別過濾裝置中可能由高至低相差很大的懸浮微粒子體積和濃度，或沒有壓縮空氣，或便攜性是必要的時候，TDA-5C煙霧發(fā)生器廠家是一部合適的機(jī)器。

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